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校友專欄


校友相關聯系方式:

 辦公室:58807943
 校友工作辦公室:58802620
 聯系人:林老師
 Email:lin@bnu.edu.cn

朱煜


杰出校友

朱煜

  • 姓名:    朱煜
  • 職稱:    研究員、博士生導師
  • Email地址:    zhuyu@tsinghua.edu.cn
  • 通信地址:    清華大學 精密儀器與機械學系 制造工程研究所IC裝備
  • 辦公地點:    偉清樓405

教育背景

  • 博士 中國礦業大學機械工程學院 2001年獲機械設計及理論工學博士學位
  • 碩士 中國礦業大學信息電子工程學院 1993年獲計算機應用工學碩士學位
  • 學士 北京師范大學無線電電子學系 1983年獲無線電電子學理學學士學位

工作履歷

  • 2004.9~至今    清華大學精儀系制造所任教
  • 2001.9~2004.8    清華大學制造所博士后
  • 1999.9~2001.8    清華大學制造所訪問學者
  • 1983.8~2004.8    中國礦業大學任教

學術兼職

  • “十五”“十一五”某領域國家重大專項咨詢組成員, 專家組副組長;
  • 《半導體學報》雜志常務理事;
  • 北京市電子制造裝備行業協會常務理事;
  • 機械工程學會高級會員。

研究領域

  • 精密測量與控制理論、超精密機械設計與制造、電子制造工藝機器裝備

研究概況

  • 近年來主要從事IC制造裝備發展戰略與規劃、集成電路制造裝備超精密測量與控制等研究,研究領域包括:(1)IC制造裝備發展戰略規劃;(2)IC裝備超精密機械設計理論與方法;(3)IC裝備超精密運動控制理論及技術;(4)超精密測量與誤差補償;(5)雙光子微細加工。

獎勵與榮譽

  • “十一五”國家科技計劃執行突出貢獻獎
  • 02國家科技重大專項“2010年度突出貢獻獎”

學術成果

  • 近5年主持撰寫專題戰略研究報告30余份,發表論文120余篇,其中以第一作者或學生第一作者本人第二作者被SCI、EI同時檢索13篇,EI檢索40余篇。申請國家發明專利60余項,PCT 5項,31項授權,美國專利授權2項。撰寫專著一部。

     
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